本文介绍了深圳半导体设备制造商SiCarrier Industrial Machines Co., Ltd.在2025 SEMICON China上高调亮相，推出五款新半导体工艺设备产品，试图挑战外国竞争对手在该行业的主导地位，还阐述了其公司背景、产品目标市场、相关技术突破以及半导体检测和计量解决方案等情况。
在2025年的SEMICON China展会上，深圳半导体设备制造商SiCarrier Industrial Machines Co., Ltd.高调登场。该公司推出了五款全新的半导体工艺设备产品，旨在挑战外国竞争对手在半导体行业的主导地位。
在3月26日至27日于上海举办的此次活动中，SiCarrier公司展示了外延沉积设备（EPI）、原子层沉积设备（ALD）、物理气相沉积设备（PVD）、蚀刻设备（ETCH）以及化学气相沉积设备（CVD）。这一发布引起了行业专业人士、潜在客户和竞争对手的极大关注，标志着SiCarrier正作为中国半导体制造领域的新兴力量崭露头角。
SiCarrier是一家与科技巨头华为关系密切的国有控股企业，专注于半导体设备和电子制造工具。企业记录显示，SiCarrier Industrial成立于2022年，而其母公司SiCarrier Technology则于2021年创立。这两家公司都与企业家俞海有关联，并且完全由深圳市重大产业投资集团持有，该集团隶属于深圳市国有资产监督管理委员会。
该公司的新设备瞄准了半导体生产的关键阶段。例如，用于先进节点和第三代半导体的外延工艺、用于5纳米以下精密薄膜沉积的原子层沉积工艺，以及适用于广泛制造工艺的化学气相沉积工艺。长期以来，这些领域一直被应用材料（AMAT）、东京电子（TEL）和ASM等跨国公司所主导。
目前，外国供应商控制着这些工艺工具的大部分市场份额。在外延设备方面，AMAT和TEL处于领先地位；原子层沉积设备市场主要由ASM和TEL控制，两者合计占据超过60%的市场份额；AMAT则以85%的市场份额主导着物理气相沉积设备市场。SiCarrier的最新产品旨在打破这种垄断局面，其采用了先进的反应腔设计，能够实现纳米级薄膜均匀性控制。
此外，该公司支持14纳米及以下节点的下一代光刻胶涂覆和显影设备，也是在长期被外国公司控制的领域取得的一项突破。
除了沉积工具，SiCarrier还展示了其半导体检测和计量解决方案，这是芯片制造质量控制的关键环节。该公司已经开发了13种关键检测工具，包括光学检测（BFI）、光学计量（IBO）、PX计量（AFM）和功率器件测试（RATE – CP），可应用于逻辑、存储和化合物半导体制造。
计量和检测对于提高半导体良率至关重要，特别是当工艺节点缩小到14纳米及以下时。行业分析师指出，缺陷检测精度的轻微下降会显著影响整体晶圆良率，因此高精度测量工具对于制造商来说是一项至关重要的投资。
根据VLSI Research的数据，2023年全球半导体检测和计量市场达到128.3亿美元，其中中国市场为43.6亿美元。尽管市场规模可观，但国内制造商在与成熟的外国企业竞争时仍面临困难。截至2019年，中国企业在计量领域仅占0.61%的份额，但到2023年，这一比例已上升至4.34%，反映出国产化进程正在加速。
SiCarrier已经积累了超过80项涵盖光学系统、材料和过程控制技术的专利。最近的专利申请包括热辐射结构、工艺腔设计和静电卡盘技术等方面的创新，这些创新解决了晶圆加工中的电荷耗散难题。该公司已经开发了六大类半导体工具，并计划继续提升其技术能力。
深圳已成为中国半导体行业的关键枢纽，尽管历史上在芯片设计方面表现出色，但在制造领域曾一度落后。而SiCarrier的发展，有望为深圳半导体制造注入新的活力。
深圳半导体设备制造商SiCarrier在2025 SEMICON China展会上推出五款新设备挑战外企主导地位的情况。介绍了公司背景、产品针对的市场领域、打破外企垄断的技术亮点，还提及了其半导体检测和计量解决方案及相关市场现状，展现了该公司在半导体领域的发展潜力和推动国产化进程的作用。
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