北方华创微电子获“聚焦环”专利,半导体领域再添新成果,北方华创微电子新专利“聚焦环”,解决半导体刻蚀难题

北京北方华创微电子装备有限公司在 2025 年 3 月 18 日取得一项名为“聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利,阐述了该专利的摘要内容,还介绍了该公司的基本情况。

据金融界 2025 年 3 月 18 日消息,国家知识产权局的相关信息表明,北京北方华创微电子装备有限公司成功取得了一项意义重大的专利。这项专利名为“聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备”,其授权公告号为 CN 222619680 U,申请日期可追溯至 2024 年 3 月。

从专利摘要中我们可以了解到,此申请公开的聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备主要涉及半导体领域。具体来说,该聚焦环包括环本体和扇形的调节件。环本体沿自身轴线的一端设有环形表面,而调节件就设置在这个环形表面上,并且在轴线方向上是凸出于环形表面的。值得注意的是,调节件的圆心角小于 180°。这一独特的设计能够有效解决产品刻蚀后的功能层厚度不均匀等长期困扰半导体行业的问题,为半导体工艺的提升提供了新的解决方案。

通过天眼查资料可知,北京北方华创微电子装备有限公司成立于 2001 年,公司坐落于北京市,是一家专注于电气机械和器材制造业的企业。该企业的注册资本为 114153.708311 万人民币,实缴资本同样为 114153.708311 万人民币。经过天眼查大数据分析,北京北方华创微电子装备有限公司在商业活动方面十分活跃,共对外投资了 7 家企业,参与招投标项目多达 1013 次。在财产线索方面,拥有商标信息 38 条,专利信息更是高达 5000 条,此外企业还拥有行政许可 339 个,展现出了强大的实力和市场竞争力。

本文介绍了北京北方华创微电子装备有限公司在 2025 年 3 月 18 日获得“聚焦环、工艺腔室及半导体工艺设备”专利,阐述了专利相关内容及能解决的问题,还介绍了该公司的基本情况,体现出公司在半导体领域的实力和创新能力。

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